GaAs gőzfázisú epitaxiális réteg növesztése és a homogenitást befolyásoló tényezők
| Title | GaAs gőzfázisú epitaxiális réteg növesztése és a homogenitást befolyásoló tényezők |
| Publication Type | Journal Article |
| Year of Publication | 1986 |
| Authors | I, G., S. O. M. O. G. Y. I. K, and Á. Nemcsics |
| Journal | FINOMMECHANIKA MIKROTECHNIKA |
| Volume | 25 |
| Pagination | 36 - 39 |
| Date Published | 1986 |
| Publication Language | eng |