Fabrication of a-SiGe Structure by RF Sputtering for Solar Cell Purposes
| Cím | Fabrication of a-SiGe Structure by RF Sputtering for Solar Cell Purposes |
| Közlemény típusa | Journal Article |
| Kiadás éve | 2003 |
| Szerzők | Serényi, M., J. Betko, Á. Nemcsics, N. Q. Khanh, and M. Morvic |
| Folyóirat | PHYSICA STATUS SOLIDI C-CONFERENCES AND CRITICAL REVIEWS |
| Évfolyam | 00 |
| Kötet | 3 |
| Oldalszám | 857 - 861 |
| Kiadás dátuma | 2003 |
| Kiadás nyelve | eng |
| Webcím | www.mtakpa.hu/kpa/download/1276172.pdf |