Layer thickness limitation in GaAs cloride VPE system
Cím | Layer thickness limitation in GaAs cloride VPE system |
Közlemény típusa | Journal Article |
Kiadás éve | 1991 |
Szerzők | Somogyi, K., S. Varga, and Á. Nemcsics |
Folyóirat | CRYSTAL PROPERTIES AND PREPARATION |
Évfolyam | 36-38 |
Oldalszám | 525 - 529 |
Kiadás dátuma | 1991 |
Kiadás nyelve | eng |