Fabrication of a-SiGe Structure by Magnetron Sputtering for Solar Cell Purposes
Cím | Fabrication of a-SiGe Structure by Magnetron Sputtering for Solar Cell Purposes |
Közlemény típusa | Conference Paper |
Kiadás éve | 2002 |
Kiadás nyelve | eng |
Oldalszám | - |
Szerzők | Serényi, M., J. Betko, Á. Nemcsics, N. Q. Khánh, and M. Morvic |
Konferencia neve | Book of Abstracts EXMATEC 2002 |
Kiadás dátuma | 2002 |