Chemical Beveling of Si/SiGe Structures for Structure and Material Analysis by Raman Spectroscopy
| Cím | Chemical Beveling of Si/SiGe Structures for Structure and Material Analysis by Raman Spectroscopy |
| Közlemény típusa | Conference Paper |
| Kiadás éve | 2002 |
| Kiadás nyelve | eng |
| Oldalszám | 195 - 198 |
| Szerzők | Srnanek, R., R. Kinder, D. Donoval, L. Peternai, I. Novotny, J. Geurts, D. S. McPhail, R. Chater, and Á. Nemcsics |
| Konferencia neve | Proc. of 4th Int. Conf. on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems |
| Kiadás dátuma | 2002 |