RHEED kiértékelés képfeldolgozás segítségével

RHEED kiértékelés képfeldolgozás segítségével
Molecular Beam Epitaxy (MBE) rétegnövesztési eljárás során, az egyetlen in-situ (valós idejű) vizsgálat az amely a réteg növesztés állapotáról a Reflection High Energy Electron Diffraction (RHEED) vizsgálat segítségével tudunk megvalósítani.
A vizsgálat felület levetített képe egy fluorescens bevonatú képernyő jelenik meg, melynek struktúrája, elhelyezkedése, intenzitása információt tartalmaz a rétegnövesztési felületen keletkezett nano struktúrák felépítésről és állapotáról. Képfeldolgozási eljárások segítségével javíthatjuk a keletkezett képek olvashatóságát. Egyedi mérések segítségével további információkat nyerhetünk ki a megjelent struktúrákból. Így a kialakult nano struktúrák további kiértékelése válik lehetséges.

Evaluation of the RHEED with the help of image processing
The RHEED pattern during the nano structure formation with the help of image processing is investigated. Nowadays, the growth of self-organised nano structures has been intensively investigated. It is very important to understand their growth process and the knowledge about their shape is particularly significant. The growth of these nano structures can be tracked in-situ manner with the help of RHEED. In-situ information about the stage of the process and the shape of the structure has been provided by RHEED. The temporal relation between the formation of the nano structure and the RHEED pattern is rather complicate. The image processing of the RHEED pattern help us to recognize and to interpret the metamorposis of the pattern during the growth process.