Electrical study of annealed silicon nitride thin layers containing excess silicon
| Cím | Electrical study of annealed silicon nitride thin layers containing excess silicon |
| Közlemény típusa | Conference Proceedings |
| Kiadás éve | 2006 |
| Szerzők | Basa, P., P. Szöllősi, and Z. J. Horváth |
| Konferencia neve | Kando Conference 2006 |
| Sorozatcím | Kando Conference |
| Konferencia helyszíne | Budapest |
| Kiadás nyelve | Hungarian |