Pattern formation on the compound semiconductor surface after selective electrochemical etching
Cím | Pattern formation on the compound semiconductor surface after selective electrochemical etching |
Közlemény típusa | Conference Paper |
Kiadás éve | 1998 |
Kiadás nyelve | eng |
Oldalszám | 39 - 42 |
Szerzők | Nemcsics, Á., D. L, K. B, and M. I |
Konferencia neve | ASDAM 98, 2nd International Conference on Advanced Semiconductor Devices and Microsystems |
Kiadás dátuma | 1998 |
Kiadó | Smolenice Castle |