Composition and Thickness of RE Sputtered Amorphous Silicon Alloy Films
Cím | Composition and Thickness of RE Sputtered Amorphous Silicon Alloy Films |
Közlemény típusa | Journal Article |
Kiadás éve | 2008 |
Szerzők | T, L., S. M, B. DK, K. NQ, Á. Nemcsics, P. P, and P. Turmezei |
Folyóirat | ACTA POLYTECHNICA HUNGARICA |
Évfolyam | 5 |
Kötet | 2 |
Oldalszám | 23 - 30 |
Kiadás dátuma | 2008 |
Kiadás nyelve | eng |
Webcím | http://www.mtakpa.hu/kpa/download/1212225.pdf |