Ugrás a tartalomra

Study on the RF Sputtered hydrogenated amorphous silicon-germanium thin films

CímStudy on the RF Sputtered hydrogenated amorphous silicon-germanium thin films
Közlemény típusaJournal Article
Kiadás éve2005
SzerzőkM, S., B. J, Á. Nemesics, K. NQ, B. DK, and M. M
FolyóiratMICROELECTRONICS RELIABILITY
Évfolyam45
Kötet7-8
Oldalszám1252 - 1256
Kiadás dátuma2005
Kiadás nyelveeng