Studies on the sputtered hydrogenated amorphous SiGe thin films
| Cím | Studies on the sputtered hydrogenated amorphous SiGe thin films |
| Közlemény típusa | Conference Paper |
| Kiadás éve | 2004 |
| Kiadás nyelve | eng |
| Oldalszám | 80 - 81 |
| Szerzők | Serényi, M., T. Lohner, N. Q. Khanh, Á. Nemcsics, and P. Turmezei |
| Konferencia neve | Proceedings of 10th Joint Vacuum Conference |
| Kiadás dátuma | 2004 |