Design of a planar high precision motion stage
| Cím | Design of a planar high precision motion stage |
| Közlemény típusa | Conference Paper |
| Kiadás éve | 2009 |
| Kiadás nyelve | english |
| Oldalszám | 371-379 |
| Szerzők | Hermann, G., K. Kozlowsky, and J. Tar |
| Konferencia neve | 7th International Workshop on Robot Motion and Control |
| Konferencia helyszíne | Czerniejewo, Poland |