The design of a low cost submicron measuring probe
| Cím | The design of a low cost submicron measuring probe |
| Közlemény típusa | Conference Paper |
| Kiadás éve | 2009 |
| Kiadás nyelve | english |
| Oldalszám | 34 |
| Szerzők | Hermann, G. |
| Szerkesztő | Marcinkevicius, A. H. |
| Konferencia neve | 5th International Conference on Mechatronic Systems and Materials MSM 2009 |
| Konferencia helyszíne | Vilnius, Latvia |