GaAs gőzfázisú epitaxiális réteg növesztése és a homogenitást befolyásoló tényezők
| Cím | GaAs gőzfázisú epitaxiális réteg növesztése és a homogenitást befolyásoló tényezők |
| Közlemény típusa | Journal Article |
| Kiadás éve | 1986 |
| Szerzők | I, G., S. O. M. O. G. Y. I. K, and Á. Nemcsics |
| Folyóirat | FINOMMECHANIKA MIKROTECHNIKA |
| Évfolyam | 25 |
| Oldalszám | 36 - 39 |
| Kiadás dátuma | 1986 |
| Kiadás nyelve | eng |