Spectroellipsometric characterization of sputtered amorphous silicon germanium thin films
| Cím | Spectroellipsometric characterization of sputtered amorphous silicon germanium thin films |
| Közlemény típusa | Conference Paper |
| Kiadás éve | 2006 |
| Kiadás nyelve | eng |
| Oldalszám | & - |
| Szerzők | Lohner, T., M. Serényi, Z. Zolnai, P. Petrik, Á. Nemcsics, and N. Q. Khanh |
| Konferencia neve | E-MRS 2005 Spring Meeting |
| Kiadás dátuma | 2006 |