Electrical and optical properties of Si-rich SiNx layers: Effect of annealing
| Cím | Electrical and optical properties of Si-rich SiNx layers: Effect of annealing |
| Közlemény típusa | Journal Article |
| Kiadás éve | 2006 |
| Szerzők | Szöllősi, P., P. Basa, C. Dücső, B. Máté, M. Ádám, T. Lohner, P. Petrik, B. Pécz, L. Tóth, L. Dobos, L. Dózsa, and Z. J. Horváth |
| Folyóirat | Current Appl. Phys. |
| Évfolyam | 6 |
| Kötet | 2 |
| Oldalszám | 179-181 |
| Kiadás nyelve | English |
| ISSN Number | 111 |